|
Страны, определяющие научно-технический прогресс, при выборе своих национальных интересов используют термин "критические технологии". Как правило, скупой перечень критических технологий характеризует уровень интеллектуального потенциала нации и, безусловно, желание и способность государства опеспечить его развитие. Бытует мнение, что с точки зрения материаловедческого базиса 19 век был веком нефти, а двадцатое столетие подарило нам кремний - основу практически всех современных информационно-управляющих, радиоэлектронных и коммуникационных систем. И все же, одним из самых замечательных научно-технических достижений конца 20 века, стали не очередной сверхбыстрый процессор или гигантская память, а так называемая микромеханическая миниатюра, процесс создания которой, базируется на чрезвычайно высоко развитой культуре кремниевой тенологии. В 1982 г. сотрудник фирмы IBM К. Петерсон по новому взглянул на кремний, увидев в нем не только полупроводниковый, но и конструкционный "механический" материал.
Появление миниатюрных систем, в которых гальванические (электрические) подсистемы интегрируются на микроуровне с механическими, породило новое направление, получившие с 1987 г. аббревиатуру MEMS (МЭМС, микроэлектромеханические системы). В настоящее время в мировой практике для обозначения фактически одного и того же направления наиболее часто используют понятия: США - MEMS и MOEMS (микроэлектромеханические и микрооптомеханические системы); Япония - Micromachines (микромашины), Европейские страны - MST - Microsystem Technology (дословно, технология микросистем).
В России с 1996 г. в "Перечне критических технологий Федерального уровня" официально используется термин "Микросистемная техника", а в утвержденном президентом России 30 марта 2002 г. ""Перечне критических технологий Российской федерации" микросистемная техника внесена как самостоятельная критическая технология, содержание которой определено следующим образом: "Сверхминиатюрные механизмы, приборы, машины с ранее недостижимыми массогабаритами, энергетическими показателями и функциональными параметрами, создаваемые интегрально-групповыми экономически эффективными процессами микро- и нанотехнологии".
К особенностям МЭМС компонентов можно отнести такие немаловажные факторы современного приборостроения, как небольшие размеры и вес (относительно существующих аналогов), расширенный динамический диапазон, высокая точность, низкая потребляемая мощность и, конечно, невысокая стоимость компонентов. Подобное сочетание качеств делает МЭМС компоненты адекватной заменой существующей стандартной элементной базе.
На данный момент наша компания занимается поставкой следующих МЭМС компонентов:
- МЭМС генераторы
- акселерометры
- гироскопы
- СВЧ МЭМС ключи/реле
- датчики давления
|
