|
MEMS технология (Micro Electro Mechanical Systems) в настоящее время является самой передовой и перспективной технологией производства СВЧ устройств. Современные требования снижения размеров и веса СВЧ устройств, расширения их динамического диапазона, уменьшения потребляемой мощности и стоимости, наращивания их интеграции и функциональных возможностей при росте рабочих частот подталкивают разработчиков к созданию новых компонентов и поиску их оптимальных архитектур.
К одним из таких новых направлений следует отнести управляемые электростатическим полем MEMS ключи. Напряжение в 100 В, приложенное между затвором и истоком переводит прибор из разомкнутого состояния в замкнутое. При этом благодаря возникшему электростатическому полю кантилевер (обозначен, темной стрелочкой) смыкается с контактом стока, образуя замкнутую цепь.
Radant MEMS является лидером в области проектирования СВЧ ключей, выполненных по MEMS технологии. Основные характеристики продукции компании приведены в таблице.
|
Наименование
|
Количество ключей в корпусе, шт
|
Максимальная частота, ГГц
|
Количество рабочих циклов на нагрузке
|
Изоляционные свойства на частоте
|
|
Циклы
|
Мощность, дБм
|
Подавление помех, дБ
|
Частота, ГГц
|
|
RMSW100TM
|
1
|
12
|
1011
|
30
|
-23
|
2.4
|
|
RMSW101TM
|
1
|
12
|
1011
|
30
|
-27
|
2.4
|
|
RMSW200TM
|
1
|
40
|
1011
|
27
|
-20
|
10
|
|
RMSW200HPTM
|
1
|
40
|
1010
|
36
|
-20
|
10
|
|
RMSW201TM
|
1
|
20
|
1011
|
27
|
-20
|
10
|
|
RMSW220HPTM
|
2
|
40
|
1010
|
36
|
-20
|
10
|
|
RMSW221TM
|
2
|
20
|
1011
|
27
|
-25
|
18
|
|
RMSW240TM
|
4
|
20
|
1011
|
27
|
-25
|
18
|
|
RMSW260TM
|
6
|
20
|
1011
|
27
|
-22
|
18
|
|
Наименование
|
Количество ключей в корпусе, шт
|
Максимальная частота, ГГц
|
Количество рабочих циклов на нагрузке
|
Изоляционные свойства на частоте
|
|
Циклы
|
Мощность, дБм
|
Подавление помех, дБ
|
Частота, ГГц
|
|
RMSW101 - SPST
|
1
|
12
|
100 млрд.
|
30
|
-27
|
2.4
|
|
RMSW100HP - SPST
low insertion loss
high power (10 W)
|
1
|
12
|
10 млрд.
|
36
|
-23
|
2.4
|
|
RMSW201 - SPST
high isolation
|
1
|
20
|
100 млрд.
|
27
|
-20
|
10
|
|
RMSW200HP - SPST
broadband
high power (10 W)
|
1
|
40
|
10 млрд.
|
36
|
-20
|
10
|
|
RMSW220HP - SPDT
high power (10 W)
|
2
|
40
|
10 млрд.
|
36
|
-20
|
10
|
|
RMSW221 - SPDT
|
2
|
20
|
100 млрд.
|
27
|
-25
|
18
|
|
RMSW240 - SP4T
|
4
|
20
|
100 млрд.
|
27
|
-25
|
18
|
|
RMSW260 - SP6T
|
6
|
20
|
100 млрд.
|
27
|
-22
|
18
|
Отладочные платы:
RMSW100 Набор разработчика
RMSW200 Набор разработчика
RMSW220D Набор разработчика
4-Channel, 100 V Evaluation Driver
Рекомендации по применению
Фото СВЧ МЭМС ключа
|
